World Ceramic Industry News

Ceriumoxidpulver til CMP-anvendelse

2024-10-14

Engineering Ceramic Co.,( EC © ™) Rapport:


Meddelt af den nationale udviklings- og reformkommission (NDRC) på en pressekonference mandag, har Kina afsat 200 milliarder yuan (28 milliarder USD) til investeringsprojekter af lokale regeringer i år, da det lovede at opfylde sine egne ambitiøse økonomiske vækstmål.



Disse projekter, herunder halvlederindustrien som kemisk mekanisk polering (CMP). I halvlederfremstillingsprocessen skal chipoverfladen være meget flad for at sikre normal drift af kredsløbet. Kemisk mekanisk polering er en nøgleproces for at nå dette mål.Ceriumoxidbliver et vigtigt slibemiddel i CMP-gylle på grund af dets unikke fysiske og kemiske egenskaber. Nanoceriumoxiddispersionen har stærk oxidation til siliciumwafers og kan danne et meget tyndt oxidlag på overfladen af ​​siliciumwaferen. Dette er ikke kun befordrende for at forbedre poleringseffektiviteten, men gør det også muligt for siliciumwaferen at opnå en meget lav overfladeruhed og gøre produktoverfladen lys og opnå en spejleffekt.  



Sammenlignet med andre almindeligt anvendte slibende materialer producerer Engineering Ceramic Co.,(EC © ™) et særligt ceriumoxidpulver, som har en mere fremragende polerende effekt. Det kan effektivt fjerne bittesmå partikler, urenheder og ujævne dele på overfladen af ​​siliciumwaferen, forbedre siliciumwaferens fladhed og renhed og generere mindre varme og kemiske rester under poleringsprocessen og har mindre skade på halvledermaterialer.

 

 


Kemisk formel: CeO2

Molær masse: 172,115 g/mol

Udseende: hvidt eller svagt gult fast stof, let hygroskopisk

Densitet: 7,215 g/cm3

Smeltepunkt: 2.400 °C (4.350 °F; 2.670 K)

Kogepunkt: 3.500 °C (6.330 °F; 3.770 K)

Opløselighed i vand: uopløselig

Magnetisk modtagelighed (χ): +26,0·10−6 cm3/mol

Krystalstruktur: kubisk (fluorit)



Udtalelse: Artiklen/nyhederne/videoen er fra internettet. Vores hjemmeside genoptrykkes med det formål at dele. Ophavsretten til den genoptrykte artikel/nyhed/video tilhører den originale forfatter eller den originale officielle konto. Hvis der er en overtrædelse involveret, bedes du informere os i tide, og vi vil bekræfte og slette den.


+86-15993701193hj@engineeringceramic.com
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept