Engineering Ceramics Inc. (EC © ™) Rapport:
EcVakuumgennemgang- Teknisk oversigt
EC er specialiseret i høj ydeevne vakuumgennemførsler såsom:
✔ Keramisk isolator til ultra højspændingsisolering (Al₂o₃/ALN)
✔ Vakuumlodningsteknologi (lækagehastighed <10⁻⁹ MBAR · L/s)
✔ Airtight tætning til turbo molekylære pumper/ionpumper (UHV/XHV kompatibel)
✔ Brugerdefinerede konfigurationer til halvleder, rumfarts- og forskningsapplikationer
Tabel 1: Klassificering baseret på driftsprincippet
|
slags |
Teori om operation |
Endelig vakuum (PA) |
Hovedfunktioner |
Hovedanvendelser |
|
Rotary Vane Pump |
Overgang med en roterende varevogn |
1e-1 ~ 1e2 |
Olieforseglingstype, krævet vedligeholdelse |
Foreline/rygpumpe |
|
Tør rullepumpe |
Gaskomprimering af orbital spiraler |
1e-2 ~ 1e1 |
Oliefri, lav vibration |
Laboratorieudstyr |
|
Roots blæser |
Gastransport ved hjælp af tæller roterende lobes |
1e-1 ~ 1e3 |
Høj gennemstrømning, ofte flerlags |
Industrielt vakuumsystem |
|
Olie diffusionspumpe |
Overførsel med Steam Jet Momentum |
1e-7 ~ 1e-4 |
Ingen bevægelige dele, kolde fælder krævet |
E-bjælkeaflejring |
|
Turbo molekylær pumpe |
Højhastighedsrotor (> 60k o / min) kolliderer med molekyler |
1e-9 ~ 1e-6 |
Renlighed, vibrationsfølsomme |
UHV Science Machine |
|
Kryogen pumpe |
Gaskondens på <20K overflader |
<1e-10 |
Maksimal vakuum og regelmæssig regenerering krævet |
Simulering af rummiljø |
Tabel 2: Klassificering efter vakuumniveau
|
Vakuumområde |
Tryk (PA) |
Optimal pumpetype |
Tekniske overvejelser |
|
Groft vakuum |
1e5 ~ 1e2 |
Rotationsvane, membran |
Support med højt tryk med gasballast |
|
Lavt vakuum |
1e2 ~ 1e-1 |
Roots + Rotary Vane |
Hastighed vs. magteffektivitet |
|
Høj vakuum |
1e-1 ~ 1e-7 |
Diffusion, |
Backstream -forebyggelse |
|
Ultrahøj vakuum (UHV) |
1e-7 ~ 1e-10 |
Ion, kryopump |
Valg af materiale er vigtigt |
|
Ekstremt højt vakuum |
<1e-10 |
Hybrid ion-kryosystem |
Miljø på kvanteniveau |
Nøgleudvælgelseskriterier
1. Endelig vakuumniveau
Det krævede vakuumniveau skal opfylde processpecifikationerne. For eksempel:
- Ved fremstilling af halvleder kræves det normalt vakuumniveauer under 10⁻⁶ PA.
- I industrielle processer kan det fungere effektivt i området 10⁻¹ til 10² PA
2. pumpehastighed
Målt i liter pr. Sekund (L/S) eller kubikmeter i timen (m³/h)
Vælg den rigtige størrelse til din kammerkapacitet og gasbelastning
Applikationer med høj kapacitet (f.eks. Vakuumovne) kan kræve 1.000+ m³/h
3. gas- og kemisk kompatibilitet
- Standardbrug: Standardmaterialer (rustfrit stål, aluminium)
- Korrosivt miljø: Der kræves for eksempel specielle materialer:
- PTFE -belægningsdele (for syrebestandig)
- Hastelloy eller nikkellegering (til kraftfulde kemikalier såsom klor)
4. energieffektivitet og vedligeholdelse
- Olieforseglingspumpe:
- Lave startomkostninger
- Regelmæssige olieændringer er påkrævet (hver 2.000 til 4.000 timer)
- Risikoen for olieforurening gennem følsomme processer
- Tør (oliefri) pumpe:
- Høj initial investering
- Ingen vedligeholdelse kræves (ingen olieudskiftning)
- Anbefalet til rene processer (f.eks. Medicin, mad)
Den vigtigste terminologi, der er dækket af denne tekst, er som følger:
1. Vakuumforseglinger - En vakuumforsegling, fingervakuumforseglingsteknologi og vakuumfremførelse er effektive (tætningsforbindelse).
2. gennem gennemgående del (かんつうぶ)-gennem gennemgående del henviser generelt til dele, der passerer gennem vægge eller partitioner, og som undertiden bruges til at beskrive strukturer, der ligner vakuum.
3. Furanzi - Flange, der ofte bruges i vakuumsystemforbindelseskomponenter, hardware relateret til vakuum kan involvere dette udtryk.
4. vakuumstik - vakuumstik, vakuumstik under luft og muligheden for at få adgang til gennemgang.
5. Isoleringsindtrængning - Evne til at udføre under vakuum gennemførelse.
Disse ord er ikke helt ækvivalente til "vakuum gennem gennemgående", men kan bruges som tilnærmelser eller relaterede udtryk under visse omstændigheder. Hvilket sprog, der skal bruges, afhænger af tekniske detaljer og branchenormer, så det anbefales, at du henviser til relevant specialiseret litteratur eller konsulterer en ekspert for at sikre nøjagtighed.
Erklæring: Artiklen/Nyheder/video er fra Internettet eller lavet af AI -software. Vores websted genudtryk med det formål at dele. Ophavsretten til den genoptrydende artikel/nyhed/video hører til den originale forfatter eller den originale officielle konto. Hvis der er nogen overtrædelse involveret, bedes du informere os i tide, og vi vil verificere og slette den.
